UpNano GmbH：研发新型框架，补偿双光子聚合 (2PP)打印基板倾斜度，提高精度！

2022年8月27日，南极熊获悉，UpNano GmbH开发了一种新型框架可以在打印时补偿双光子聚合 (2PP) 3D打印基板中的微小倾斜度，提高打印精度。可以说活，新开发的倾斜框架有助于最大限度地提高打印结果的精度，尤其是大型结构。



UpNano GmbH（奥地利）在国际上推出了“倾斜框架”。该框架可以配备用于2到6英寸工业标准晶圆的卡盘支架。利用此款框架，在长达 4 英寸的晶圆整个表面上进行 2PP 3D 打印已成为现实。倾斜框架适合UpNano的任何NanoOne系列设备，它们是由激光驱动的2PP 3D 打印系统，可以以极高的速度构建跨越12个数量级的结构。


△NanoOne打印机

NanoOne 系列可以打印纳米分辨率以及厘米尺寸的结构。它已被用于电子、微光学以及细胞和医学研究中的生物相容性应用。在 2PP 3D 打印中，尺寸参数是十分重要的。打印结构越大，设备中任何微小的不均匀性就越会影响最终产品的精度。使用 NanoOne，可以显着减少微型零件的生产时间和单位成本，而不会牺牲分辨率和公差。基于多光子光刻技术的多功能技术可用于制造结构在 170 nm 范围内的超细组件和厘米范围内的宏观微型零件。NanoOne 的写入速度高达 1,000 mm/s，吞吐量高达 >450 mm3/h，将高性能与用户友好相结合。


△可打印超细组件和宏观微型零件


△UpNano研发了倾斜框架，能够最大限度地提高精度。 用于2PP 3D打印的带倾斜补偿的基板支架。

UpNano GmbH 通过推出其倾斜框架解决了上述问题，可以纠正微米范围内的不均匀性。Tilt Frame 可以使用各种支架进行扩展，最大可以用于 6 英寸晶圆的卡盘支架。晶圆的整个表面（最大 4 英寸）现在都可以进行 2PP 3D 打印。

UpNano 的营销和业务开发主管兼联合创始人 Denise Hirner 解释说：“此款框架适配于NanoOne打印机，可以最大限度地提高打印结果的精度，尤其是大型结构。”



倾斜框架可以单独订购，并且可以轻松安装到现有的 NanoOne 打印机上，或作为任何新 NanoOne 的预安装附件。该框架能够校正 μm 范围内的基板倾斜度。校正值通过 NanoOne 自动对焦获得，该自动对焦在基板的三个点进行高度测量。基于这些测量，电脑自动计算校正值。实际使用中，有两个版本的倾斜框架可供选择，其一是价格具有竞争力的手动版本，该版本使用高精度校正螺钉，其二是自动版本，使用软件控制的精密电机进行校正。该框架与 NanoOne 系列可用的所有光学器件兼容，即 5x、10x、20x 和 40x 物镜。

Denise Hirner 说道：“NanoOne 可以以高达 1,000 mm/s 的惊人写入速度进行打印，并实现高达 200 mm3/h 的吞吐量。再加上新获得的打印高达 4 英寸的行业标准晶圆的整个表面的能力，首次实现了 2PP 3D 精度的批量生产。“

UpNano 还在 Tilt Frame 产品组合中增加了一个光纤支架和一个插芯支架。通过将这些支架与来自 UpNano 产品组合的具有光学特性的打印材料一起使用，该材料已针对该工艺进行了优化，集成光学系统可以高精度地定位和制造在光纤的尖端上。