n 本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2.5m×5m,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求;
n 本化学气相沉积炉采用多温区独立控温,温度均匀性好;
n 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
n 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
n 本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。
n 本化学气相沉积炉根据炉膛尺寸与结构设置温区,温度均匀性好;
n 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
n 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
n 对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效的处理。
化学气相沉积炉(碳化硅)
该化学气相沉积炉(碳化硅)可用于以三氯甲硅烷(MTS)为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。
技术特征
n 本化学气相沉积炉采用最先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压 力波动范围小;
n 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
n 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
n 对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;
n 本化学气相沉积炉采用最新设计防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率极低。
n 本设备采用特殊的炉胆结构和加热器布置,炉温均匀性好。
n 采用特殊结构脱脂箱,密封效果好,脱脂完全,对炉内元件无污染。
n 设备具备柔性抽真空、微正压烧结、分压烧结、负压脱脂和微正压脱脂等功能。
n 采用最先进的隔热结构和材料,炉胆隔热性能好、蓄热少,比传统设计节能20%以上。
n 采用触摸屏操作,PLC集中控制,操作简单,可靠性高。
n 具有超温超压等故障报警,机械式自动压力保护,动作互锁等功能,设备安全性高。
n 设备具备远程操作、远程故障诊断和远程软件升级等功能
n 本设备采用特殊的炉胆结构和加热器布置,炉温均匀性好。
n 采用特殊结构脱脂箱,密封效果好,脱脂完全,对炉内元件无污染。
n 具备柔性抽真空、真空烧结、微正压烧结、分压烧结、负压脱脂、TOWAC脱脂、微正压脱脂等功能;
n 采用最先进的隔热结构和材料,炉胆隔热性能好、蓄热少,比传统设计节能20%以上。
n 采用触摸屏操作,PLC集中控制,操作简单,可靠性高。
n 具有超温超压等故障报警,机械式自动压力保护,动作互锁等功能,设备安全性高。
n 具备远程操作、远程故障诊断和远程软件升级等功能。
n 真空脱脂炉采用特殊的炉胆结构和加热器布置,炉温均匀性好。
n 真空脱脂炉采用特殊结构脱脂箱,密封效果好,脱脂完全,对炉内元件无污染。
n 真空脱脂炉具备柔性抽真空、真空预烧结、负压脱脂、TOWAC脱脂、微正压脱脂等功能;
n 真空脱脂炉采用最先进的隔热结构和材料,炉胆隔热性能好、蓄热少。
n 真空脱脂炉采用触摸屏操作,PLC集中控制,操作简单,可靠性高。
n 真空脱脂炉具有超温超压等故障报警,机械式自动压力保护,动作互锁等功能,设备安全性高。
n 真空脱脂炉具备远程操作、远程故障诊断和远程软件升级等功能。
Cr
Ni
Co
Mo
Nb
Al
Ti
Fe
16.8-20.9
50-55
≤1.0
2.8-3.3
4.6-5.4
0.2-0.8
0.65-1.15
Bal
B
Mn
Si
P
S
Cu
C
O
≤0.006
≤0.35
≤0.35
≤0.015
≤0.015
≤0.3
≤0.08
≤0.01